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出货78台！中企公布EUV光刻机专利，难怪ASML着急出货了？

半导体这行当现在是全球最火的战场之一，尤其是光刻机这玩意儿，简直就是芯片制造的核心命脉。荷兰的ASML公司一直稳坐头把交椅，他们的设备能帮芯片厂把线路刻得细如发丝，支撑着从手机到AI的所有高科技产品。

芯片行业现在是全球经济的核心战场，尤其是那些高端光刻机设备，直接决定了谁能在半导体领域领先。荷兰的ASML公司几乎垄断了EUV光刻机市场，这种机器是生产7纳米以下先进芯片的必备工具。问题是，这种设备里面到底有没有中国零部件？如果荷兰像美国那样彻底断供中国市场，

中国半导体行业这些年一直被EUV光刻机卡脖子，这玩意儿是ASML的独门绝技，价格高得离谱，一台顶得上好几架飞机。结果，美国那边管制出口，中国企业拿不到手，只能想别的招儿。没想到，复旦大学的研究团队在2022年底就整出了个大新闻，他们在国际期刊上发论文，搞出一种

令人惊讶的是，芯片制造行业其实极易受到颠覆性变革的影响。现有企业的技术决策往往受惯性驱使，“我们一直都是这么做的”。他们最害怕的就是技术倒退。就连晶圆厂照明颜色这样简单的事情都无法改变：尽管晶圆厂会告诉你，传统的黄色灯光不会对光刻胶造成任何影响，但光刻生产线上

这几年半导体行业闹得沸沸扬扬，尤其是中美之间那点事儿，直接把全球芯片供应链搅得天翻地覆。打从2020年起，美国就开始收紧出口管制，针对某些中国企业下手，目的就是卡住先进芯片技术的外流。

EUV（极紫外）光刻机是制造 3 纳米及以下工艺芯片的核心设备，堪称半导体产业的皇冠明珠。目前，荷兰 ASML 公司垄断了全球 EUV 光刻机市场，而中国华为联合国内团队研发的 Hyperion-1 EUV 光刻机，正在试图打破这一垄断格局。

国产进展：科益虹源（中科院背景）实现248nm KrF光源量产，福晶科技（LBO晶体）参与激光驱动技术。